物理沉积系统ORION-8 （AJA International）由3个超高真空室组成，可容纳磁控溅射，电子束蒸发和真空分析工具。该系统用于各种材料的薄膜沉积，厚度从单纳米到微米不等。薄膜可以沉积在加热的衬底上。RGA、俄歇光谱仪、LEED、RHEED和生长传感器等分析工具可以监测沉积膜的生长速率、结晶度和化学成分。各种各样的材料可以以单晶或多晶薄膜的形式生长。
ORION-8系统的规格和能力
- 样品阶段容纳3“晶圆，是可旋转的，可以加热到850℃。
- 两个loadlocks。样品可以在不同的腔室之间转移。
- 基于涡轮分子泵和低温泵的泵送系统。基础真空10-9 Tor。
- 6支直径2英寸的磁控溅射枪可在直流或交流模式下工作（一次3支）
- 电子束蒸发器安装在5个5cm3的物料袋中。
- 射频等离子体源，最大功率50w
- 2条带质量控制器的气体管路
- 自动电脑控制气体开关和质量流量。
- 2个晶体生长控制器。
- 带有50千伏枪的反射高能电子衍射系统（stabb Inc.）。
- 残余气体分析仪系统（Stanford Research Systems）
- OCI微工程公司的组合俄歇/低能电子衍射系统。
用户率
费率将基于每小时或每个样本的基础上，并将与客户协商后决定。
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Leszek Malkinski博士电子邮件：lmalkins@uno.edu
样本数据
