薄膜

AMRI具有广泛的薄膜和掩蔽能力。对于薄膜生产，我们有两个最先进的系统。

物理沉积系统ORION-8

由3个超高真空室组成，可容纳磁控溅射，电子束蒸发和真空分析工具。该系统用于各种材料的薄膜沉积，厚度从单纳米到微米不等。

微层400

是一个组合物理沉积系统，有6个磁控溅射枪和双电子束蒸发器，在超高真空室中有10个口袋。该系统允许以薄膜形式沉积各种各样的材料，厚度从单纳米到几微米不等。