Microlayer 400（APX Scientific Inc.）是一种组合物理沉积系统。六个磁控溅射枪和双电子束蒸发器，在超高真空室中有10个材料袋，可以沉积从单纳米到几微米厚度的各种各样的薄膜。利用晶体生长传感器监测通过溅射或蒸发沉积在旋转衬底上的单晶和多晶薄膜的生长。
taq600 TGA-DSC的规格和性能
- 6支直径3英寸的磁控溅射枪，工作在直流或射频模式下（一次最多3支）
- 装填锁和转移臂。
- 沉积由基于labview的软件控制
- 可旋转的样品台可容纳基材达4“。
- 双电子束蒸发器（Thermionics）与五个2.2 cm3口袋的材料在每个蒸发器。
- 两个蒸发器有独立的电源和光束扫描系统可以同时运行。
- 基于超高压低温泵的泵送系统。基础真空10-9托
- 两条带质量流量控制器的燃气管道。不同的无毒气体可用于溅射或反应溅射。
用户率
费率将基于每小时或每个样本的基础上，并将与客户协商后决定。
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Leszek Malkinski博士电子邮件：lmalkins@uno.edu
样本数据
