100级洁净室为光刻工艺和其他实验提供洁净的环境，在这些实验中，灰尘颗粒可能会影响加工或测量样品的质量。洁净室的空气在离开洁净室前经过多次过滤，使每立方米的颗粒小于100个。空气质量由微粒监测系统持续监测。垂直气流工作台的空气纯度要好一个数量级。洁净室可容纳基本的光刻、组装和表面表征工具。
GTAT SPS的规格和能力
- 100级洁净室采用循环空气设计。
- MiniNet 210型颗粒监测系统，用于监测洁净室空气的纯度。
- 洁净室可用设备：
- 完整的光刻系统（Newport Inc.）适用于3 “和4 ”外径晶圆，包括：
- 布鲁尔科学公司台式旋转涂布机/热板系统型号CEE-200-CB
- 用于离子研磨的AJA国际猎户座8 ATC IM系统
- Veeco Instruments多探针扫描显微镜包括：
- kuilcke &沙发型号4500数字系列手动焊丝机
- 四个Terra Universal垂直流工作台
- 若干样品及化工储物柜及100级家具
用户率
费率将基于每小时或每个样本的基础上，并将与客户协商后决定。
洁净室每小时收费
辅助使用：$15/小时*
洁净室培训：50美元/小时。
自用:10美元/小时。
消耗品按成本价收费。
联系我们
Leszek Malkinski博士电子邮件：lmalkins@uno.edu